Sinar-x
dihasilkan oleh tumbukan electron berkecepatan tinggi dengan sebuah target
metalik yang diam ataupun berputar. Sinar-x yang seringkali berguna untuk laboratorium
memiliki energi antara 4 sampai 21 keV, setara dengan panjang gelombang 3,1 –
0,59 Å (1 Å = 10-10 m). Sinar-x dengan energi dibawah 4 keV akan
diabsorbi oleh udara, saat sinar-x energinya di atas 21 keV akan diperoleh pola
padatan serbuk yang sulit diinterpretasi.
Pada praktiknya, target metalik terbuat dari
chromium (Cr), cobalt (Co), copper (Cu) dan molybdenum (Mo). Metal-metal ini
menghasilkan sinar-x pada rentang energi 4-21 keV serta memberikan konduksi
panas yang stabil dan tahan korosi. Proses produksi sinar-x menghasilkan panas
dalam kuantitas besar yang harus dibuang (disipasi) dengan cepat untuk mencegah
target metal meleleh. Oleh karena itu, metal tersebut haruslah tahan lama dan
bersifat konduktif baik terhadap panas maupun listrik.
Spektrum radiasi sinar-x kontinu dan sinar-x
karakteristik dihasilkan saat electron berkecepatan tinggi menumbuk target
metal. Spectrum kontinu atau radiasi Bremsstrahlung dihasilkan ketika lintasan
electron yang memasuki target diubah oleh interaksi elektron dengan inti atom logam (McCall,
1982). Pembelokan atau pengereman menyebabkan electron kehilangan momentum dan
melepaskan radiasi sinar-x. Radiasi Bremsstrahlung menunjukkan sebuah spectrum
kontinu disebabkan fakta bahwa tidak setiap electron dapat melambat dengan cara
yang sama. Electron yang berhenti akibat interaksi tersebut akan melepaskan seluruh
energinya dalam satu waktu, sehingga menghasilkan energi maksimum dengan
panjang gelombang sinar-x yang paling pendek. Energi tersebut dideskripikan
oleh persamaan:
Dengan λ dalam Å (10-10 m) dan V
adalah tegangan yang bekerja. Jika satu plot antara intensitas radiasi Bremsstrahlung terhadap peningkatan panjang gelombang, akan membentuk sketsa sebuah kurva yang dimulai
pada λmin dan secara cepat meningkat beberapa puluh Angstrom di atas
λmin menuju sebuah maksimum dan secara lambat menurun sebagai
peralihan menuju panjang gelombang yang lebih pendek.
Di sisi lain, spectrum sinar-x karakteristik
merupakan hasil dari penajaman intensitas maksimum pada panjang gelombang kritis
dan menumpuk (berhimpit – penj) pada spktrum kontinu. Puncak-puncak berdekatan
ini merupakan karakteristik dari metal yang digunakan sebagai material target
dan terasosiasikan dengan kulit K, L dan M dari struktur elektronik unsur yang
menyusun metal atau logam. Kulit K, L dan M secara berturut-turut berhubungan
dengan bilangan kuantum utama n = 1, 2, 3 mewakili tiga energi terendah orbital
yang melingkupi pusat inti atom target unsur dengan kulit K mewakili orbital
terendah. Jika satu electron yang menumbuk target memiliki energi yang cukup
untuk melepas electron dari kulit K, sebuah electron dari kulit yang energinya
lebih tinggi akan segera jatuh ke kulit K untuk mengisi kekosongan (electron –
penj), kemudian mengemisikan foton energi tinggi dalam proses tersebut. Energi
foton tersebut besarnya tetap dan dikenal sebagai panjang gelombang
karakteristik untuk radiasi K.
Energi yang dilepaskan oleh transisi electron
dari orbital dengan energi lebih tinggi menuju kulit K yang lebih rendah
bernilai tertentu untuk setiap unsur logam target. Transisi dari kulit L menuju
kulit K dikenal sebagai radiasi Kα, ketika transisi dari kulit M menuju kulit K
dikenal sebagai radiasi Kβ. Selanjutnya, transisi Kα merupakan kejadian yang
probabilitasnya paling banyak disebabkan dekatnya jarak kulit K dan L
dibandingkan transisi Kβ sehingga muncul lebih banyak intensitas garis Kα pada
spectrum karakteristik sebuah unsur.
Transisi elektronik dari kulit L ke kulit K
dideskripsikan dengan mekanika quantum dan hanya dua transisi kulit L ke kulit
K saja yang dibolehkan. Transisi ini membagi radiasi Kα menjadi Kα1
dan Kα2. Aturan yang sama berlaku untuk transisi Kβ, hanya saja pada
kasus ini perbedaan energi tersebut nol dan kedua radiasi ini tergulung jadi
satu. Pada praktiknya, radiasi Kα memiliki lebar sebuah puncak kurang dari
0,001 Å dan memungkinkan untuk memisahkan dua radiasi tersebut dengan rancangan
eksperimen yang bagus. Radiasi Kβ tersebut juga muncul dan dapat dieliminasi
dengan beragam tehnik. Kita harus bisa membedakan definisi antara energi dari sinar-x yang dihasilkan dengan intensitas sinar-x. Beberapa satuan untuk
intensitas sinar-x yaitu flux (banyak foton yang dihasilkan tiap detik), brightness
(flux tiap miliradian kuadrat), brilliance (brightness tiap millimeter
kuadrat).